10 солнечных лет

ФОРМИРОВАНИЕ АНТИОТРАЖАЮЩИХ И МЕТАЛЛИЧЕСКИХ КОНТАКТНЫХ СЛОЕВ

После создания гетероструктуры в плазмохимических реакторах пластины подаются на участок напыления антиотражающих и металлических контактных слоев PVD. PVD — полностью автоматизированная динамиче- ская система физического осаждения из газовой фазы путём магнетронного распыления. Система использу- ется для напыления однородных, хорошо контролируе- мых тонких слоёв прозрачного токопроводящего оксида индия-олова. Здесь на них наносятся проводящие слои и пластины приобретают оттенки синего и фиолетово- го цвета.

Кассеты серых пластин со сформированным гетеропереходом загружаются в установку PVD

70