10 солнечных лет

ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ РЕАКЦИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ГЕТЕРОПЕРЕХОДА

Сердце завода, один из самых сложных и дорогих его участков — участок плазмохимического формирования гетероперехода аморфного кремния на пластине моно- кристаллического кремния. Этот участок завода отно- сится к особо чистой зоне категории ISO7 и на нём ра- ботают только роботы. В то время как остальная часть завода относится к категории ISO8, и там работают люди в белых халатах. После участка текстурирования пластины подают- ся на линию автоматизации для загрузки и разгрузки в пазы паллет кремниевых пластин. Паллета представ- ляет собой алюминиевый лист размером 1098 х 1300 мм

толщиной 4 мм с пазами для укладки в них пластин и оснащена отверстиями для центрирования под каж- дый ряд пластин. Эти паллеты — специальная разра- ботка научно-технического центра «Хевел» — загружа- ются в плазмохимический реактор для формирования гетероперехода. Загруженные паллеты транспортиру- ются автоматической линией на внутренний конвейер в отдельном помещении, где специальные роботы про- водят загрузку паллет в реакторы KAI. В процессе рабо- ты люди не прикасаются к паллетам.

В шести реакторах, каждый из которых состоит из трёх частей, происходит плазменное осаждение тонкого слоя

Загруженные пластины в установке

58