10 солнечных лет

ЭТАПЫ ПРОИЗВОДСТВА

ВХОДНОЙ КОНТРОЛЬ И СОРТИРОВКА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

Пластины кристаллического кремния загружаются на автоматизированный участок входного контроля. Далее автоматически выполняется измерение пара- метров, разбраковка и сортировка пластин по дефек- там, загрузка годных пластин кремния в химические кассеты. На этом этапе отбраковываются дефекты рас- пила монокристаллического кремния, пластины, име-

ющие изгиб. Отбракованные пластины затем повторно загружаются в аппарат автоматизированного контро- ля для исключения ошибки при первой проверке. За- полненные прошедшими контроль пластинами кассеты доставляются на линию химической обработки. Отбра- кованные пластины затем отправляются обратно по- ставщику.

48